全国人大代表、湖北三峡实验室常务副主任、兴福电子董事长 李少平：从被“卡脖子”到行业“领跑者”-尊龙体育官网

经济日报记者：2021年，兴发集团牵头筹建三峡实验室，您组建了微电子关键化学品攻关团队，实现了一系列“卡脖子”的关键技术突破。这些年来，您对加快实现高水平科技自立自强有什么切身体会和感受？

李少平：芯片制造有数百道工序，需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺，每一道工序都会用到大量超高纯电子级磷酸、硫酸、蚀刻液等湿电子化学品。这些关键材料过去完全依赖进口，是制约我国芯片产业发展的重要“卡脖子”技术难题。

面对国外技术垄断和封锁，2008年起，我们开始研发攻关。

电子级磷酸行业门槛高、技术难度大，技术参考和研发储备全部为零。花了两年时间，我们才建起第一条生产线，研发出磷酸杂质含量低于100ppb（1ppb为十亿分之一）的产品，还没来得及高兴，客户的品质需求提升到80ppb；当我们达到80ppb时，客户又要求达到50ppb。

这让我们深刻感受到：追赶跟跑永远没有出路，必须推动高水平科技自立自强。

在不断调整研发方案，经过10年的潜心攻关后，我们成功将电子级磷酸产品金属离子杂质含量稳定控制在3ppb以内，主要技术指标达到国际最高标准的g3等级。公司电子级磷酸、电子级硫酸相关成果整体技术达到国际先进水平。

十多年来，我们硬闯出一条芯片用关键材料国产化路径，不仅全面实现国产替代，还与发达国家企业同台竞技参与国际市场竞争，从“光脚追赶”跃升为行业领跑。

2021年4月24日，在习近平总书记考察兴发集团3周年之际，我们挂牌成立中部地区首个、全国第二个电子化学品专区。目前，湖北电子化学品专区总产能达到30万吨/年，已成为全国最大的湿电子化学品生产基地。

作为一名科技战线的人大代表，我将立足本职岗位，进一步坚定创新自信、勇攀科技高峰，为未来更高端、更先进制程的“中国芯”关键材料提供安全可靠的供应链支撑，将关键技术牢牢掌握在我们手中。

（湖北日报全媒记者 曹雯）